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    碳化硅晶圓改質切割設備

    碳化硅晶圓改質切割設備

    產品特點 1.特制激光系統;
    2.優異的切割效果;
    3.全自動生產;
    4.高精度視覺系統,自動對位,自動尋焦;
    5.高精密運動平臺;
    6、兼容4/6inch生產;
    7、SECS GEM標準接口。

    產品應用

    應用范圍:SiC,GaN,LT,LN等晶圓改質切割設備。

    產品參數

    主要參數加工尺寸4inch、6inch晶圓
    加工速度400-1000mm/s
    加工精度±1μm
    平臺參數行程300mm×300mm

    重復定位精度±0.001mm
    θ軸重復定位精度±2arcsec

    激光器參數紅外
    稼動率98%以上
    重大故障間隙時間>1000H
    良率≥99.5%


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