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    全自動晶圓激光開槽設備

    全自動晶圓激光開槽設備

    產品特點 1.采用特殊定制的脈沖寬度激光加工,專為晶圓激光加工定制;
    2.采用超短脈沖寬度加工,有效提高切割線品質;
    3.特殊定制的脈沖寬度開槽后,熱影響區<2um;
    4.整合多種激光微加工技術,切割效率和工藝窗口兼備;
    5.多種常規切割功能組合切換選擇;
    6.采用Mask+TOP-HAT光斑組合模組;
    7.經過優化的雙光路加工模組;
    8.采用高精度視覺檢測系統;
    9.可兼容8英寸和12英寸;
    10.自動上下料功能,無人值守全自動運行,批量化生產。

    產品應用

    應用范圍:Lowk晶圓,GaN晶圓,非lowk晶圓

    產品參數

    主要參數加工尺寸8inch、12inch
    加工速度100mm/s~600mm/s
    加工精度≤±3μm
    平臺參數600mm*600mm
    激光器參數532nm,25W
    稼動率>0.95


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